ION IMPLANTING METHOD,申请号JP19870274882-传众专利搜索

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发明名称	ION IMPLANTING METHOD
摘要
申请公布号	JPH01117320(A)	申请公布日期	1989.05.10
申请号	JP19870274882	申请日期	1987.10.30
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	KIKUCHI SHUJI
分类号	H01J37/317;H01L21/265	主分类号	H01J37/317
代理机构		代理人
主权项
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