| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTAL ALLOY THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01117314(A) |
申请公布日期 |
1989.05.10 |
| 申请号 |
JP19870273350 |
申请日期 |
1987.10.30 |
| 申请人 |
MITSUI TOATSU CHEM INC |
发明人 |
KONAGAI MAKOTO;KITAGAWA YORIHISA;FUKUDA NOBUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/42;C30B29/52;H01L31/04 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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