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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0170350(U) 申请公布日期 1989.05.10
申请号 JP19870163629U 申请日期 1987.10.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;H01L23/28;(IPC1-7):H01L23/28 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
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