CHARGED PARTICLE BEAM SHAPING DEVICE,申请号JP19870273023-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	CHARGED PARTICLE BEAM SHAPING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01117256(A)	申请公布日期	1989.05.10
申请号	JP19870273023	申请日期	1987.10.30
申请人	HITACHI LTD	发明人	HIGUCHI YOSHIYA
分类号	H01J37/141	主分类号	H01J37/141
代理机构		代理人
主权项
地址

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