发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01117362(A) 申请公布日期 1989.05.10
申请号 JP19870276372 申请日期 1987.10.30
申请人 NEC CORP 发明人 MIYAZAKI YOSHIO
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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