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发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01117362(A)
申请公布日期
1989.05.10
申请号
JP19870276372
申请日期
1987.10.30
申请人
NEC CORP
发明人
MIYAZAKI YOSHIO
分类号
H01L29/78;H01L21/225;H01L21/336
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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