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发明名称 THIN LAYER MONITOR
摘要
申请公布号 EP0267683(A3) 申请公布日期 1989.05.10
申请号 EP19870308748 申请日期 1987.10.02
申请人 UNITED KINGDOM ATOMIC ENERGY AUTHORITY 发明人 FLEMMING, MICHAEL ANTHONY;PLESTED, GRAHAM NICHOLAS
分类号 G01B15/02;(IPC1-7):G01B15/02 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
主权项
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