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发明名称 MANUFACTURE OF MONOLITHIC INTEGRATED CIRCUIT WITH BIPOLAR PLANAR TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH01117353(A) 申请公布日期 1989.05.10
申请号 JP19870313966 申请日期 1987.12.11
申请人 DEUTSCHE ITT IND GMBH 发明人 ROOTAA BUROSUFUERUTO
分类号 H01L21/76;H01L21/033;H01L21/225;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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