发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01117331(A) 申请公布日期 1989.05.10
申请号 JP19870275472 申请日期 1987.10.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MAEDA AYAKO
分类号 C23C16/54;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人
主权项
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