Schichtstruktur mit Kontaktierungsöffnung für flossenförmige Kondensatoren in DRAMS und Methode zur Herstellung desselben,申请号DE1991633410-传众专利搜索

发明名称	Schichtstruktur mit Kontaktierungsöffnung für flossenförmige Kondensatoren in DRAMS und Methode zur Herstellung desselben
摘要
申请公布号	DE69133410(D1)	申请公布日期	2004.09.23
申请号	DE1991633410	申请日期	1991.03.06
申请人	FUJITSU LTD., KAWASAKI	发明人	EMA, TAJI
分类号	H01L21/033;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/311;H01L21/82	主分类号	H01L21/033
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