发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01117045(A) 申请公布日期 1989.05.09
申请号 JP19870274103 申请日期 1987.10.29
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 HORIUCHI YUKIHARU
分类号 H01L21/768;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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