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发明名称
TEST PROBE
摘要
申请公布号
JPH01116465(A)
申请公布日期
1989.05.09
申请号
JP19870272949
申请日期
1987.10.30
申请人
HITACHI LTD
发明人
FUJIWARA AKIO;MATSUMOTO KUNIO;AKIBA YUTAKA;OKINO HIRONOBU;IWANAGA SHOICHI
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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