| 摘要 |
一种多孔质Si3N4制造方法，其系制造具有高气孔率、而且具有纵横比高之Si3N4粒子之多孔质Si3N4之方法，其中包含混合Si粉末与以氧化物换算相对于100质量份Si粉末为7.5～45质量份之稀土族元素化合物的第一烧结助剂之步骤、于该混合粉末中添加黏结剂之添加步骤、使用该混合粉末与黏结剂之混合物来制作成形体之成形步骤、于氮气氛围气体中加热该成形体至300～500℃以除去黏结剂而形成脱黏结剂体之脱黏结剂步骤、于氮气氛围气体中加热至1350～1500℃并使该脱黏结剂体氮化来制作氮化体之氮化步骤、及以1750～1900℃之温度于0.1～1气压之氮气压中烧结该氮化体之烧结步骤。 |
