光干涉式显示单元之制造方法

摘要

一种光干涉式显示面板之制造方法，依序形成第一电极与牺牲层于基材之上，再于电极与牺牲层中形成开口。接着，在牺牲层上旋涂一光阻层并填满开口。以一微影制程图案化光阻层而定义出支撑物及支撑物之支撑臂之长短。在牺牲层及支撑物上方形成第二电极，一热制程使支撑臂因应力而产生位移，藉以改变第一电极与第二电极间的距离。最后，移除牺牲层而得到光干涉式显示单元。