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发明名称 TRENCH ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01117034(A) 申请公布日期 1989.05.09
申请号 JP19870274779 申请日期 1987.10.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MOTOYAMA TAKUYUKI;ABE NAOMICHI;MIHARA SATOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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