发明名称 PLASMA PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01117018(A) 申请公布日期 1989.05.09
申请号 JP19870273077 申请日期 1987.10.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIRATA NORIYUKI
分类号 H01L21/31;H01L21/205 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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