APPARATUS FOR LIQUID GROWTH,申请号JP19870274207-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR LIQUID GROWTH
摘要
申请公布号	JPH01115892(A)	申请公布日期	1989.05.09
申请号	JP19870274207	申请日期	1987.10.29
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	SHIMA AKIHIRO
分类号	H01L21/208;C30B19/06	主分类号	H01L21/208
代理机构		代理人
主权项
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