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发明名称
DEVICE FOR PICKING IC'S FROM A WAFER
摘要
申请公布号
EP1516358(A1)
申请公布日期
2005.03.23
申请号
EP20030761411
申请日期
2003.06.04
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
JUNGE, VOLKER
分类号
H01L21/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
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