发明名称 DEVICE FOR PICKING IC'S FROM A WAFER
摘要
申请公布号 EP1516358(A1) 申请公布日期 2005.03.23
申请号 EP20030761411 申请日期 2003.06.04
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 JUNGE, VOLKER
分类号 H01L21/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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