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发明名称 ELECTRON-BEAM EXPOSURE SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01115121(A) 申请公布日期 1989.05.08
申请号 JP19870271727 申请日期 1987.10.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TOBUSE HIROAKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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