发明名称 FORMING OXIDES OF SILICON FROM ORGANOMETALLIC SOLUTIONS
摘要
申请公布号 AU583709(B2) 申请公布日期 1989.05.04
申请号 AU19870069290 申请日期 1987.02.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LAWRENCE DANIEL DAVID
分类号 C03C3/085;C03B8/02;C03B19/12;C03B20/00;C03C3/091;C03C3/097;C03C10/00;C03C10/08;C04B35/195;C04B35/626;(IPC1-7):C03B8/02;C04B35/18;C04B35/20 主分类号 C03C3/085
代理机构 代理人
主权项
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