发明名称 |
FORMING OXIDES OF SILICON FROM ORGANOMETALLIC SOLUTIONS |
摘要 |
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申请公布号 |
AU583709(B2) |
申请公布日期 |
1989.05.04 |
申请号 |
AU19870069290 |
申请日期 |
1987.02.26 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
LAWRENCE DANIEL DAVID |
分类号 |
C03C3/085;C03B8/02;C03B19/12;C03B20/00;C03C3/091;C03C3/097;C03C10/00;C03C10/08;C04B35/195;C04B35/626;(IPC1-7):C03B8/02;C04B35/18;C04B35/20 |
主分类号 |
C03C3/085 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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