| 发明名称 |
HERSTELLUNGSVERFAHREN FUER QUADRATMETERGROSSE DUENNFILM-ELEKTRONIKMATRIZEN AUF GLAS FUER FLUESSIGKRISTALL-FLACHBILDSCHIRME DURCH STUECKWEISES SCHRITTWEISES VAKUUMAUFDAMPFEN DURCH KLEINE PERFORIERTE METALLFOLIENMASKEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3734770(A1) |
申请公布日期 |
1989.05.03 |
| 申请号 |
DE19873734770 |
申请日期 |
1987.10.14 |
| 申请人 |
ENICHEM S.P.A. |
发明人 |
TIZABI,DJAMSHID,DIPL.-ING.;GEORG,PROF.DR. FISCHER,ALBERT |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/54;G02F1/136;G02F1/1362;H01B13/00;H01L21/203;H01L21/68;H05K3/14 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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