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经营范围
发明名称
HEAT TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01114032(A)
申请公布日期
1989.05.02
申请号
JP19870272403
申请日期
1987.10.28
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
IMAI YOSHIO;KUMAGAI HIROMI
分类号
H05B3/00;H01L21/22;H01L21/31
主分类号
H05B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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