METHOD AND APPARATUS FOR OPENING,申请号JP19870270431-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR OPENING
摘要
申请公布号	JPH01114048(A)	申请公布日期	1989.05.02
申请号	JP19870270431	申请日期	1987.10.28
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	KINOSHITA HIDETOSHI;MORITA NOBORU;FUJIMORI YASUTOMO
分类号	H01L21/60	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
主权项
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