发明名称 Negative resist material
摘要
申请公布号 US4826943(A) 申请公布日期 1989.05.02
申请号 US19870078268 申请日期 1987.07.27
申请人 OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD. 发明人 ITO, TOSHIO;SAKATA, MIWA;YAMASHIMA, YOSHIO
分类号 C08G77/24;G03F7/075;G03F7/09;(IPC1-7):C08G77/06 主分类号 C08G77/24
代理机构 代理人
主权项
地址