| 发明名称 |
FOCUSING PERFORMANCE MEASURING DEVICE FOR FOCUSING OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01114033(A) |
申请公布日期 |
1989.05.02 |
| 申请号 |
JP19870270156 |
申请日期 |
1987.10.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KUROSAKI TOSHISHIGE;SHODA SHUJI;CHIKAOKA RYOSAKU;KATAGIRI SOUICHI;TERASAWA TSUNEO |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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