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发明名称 Process for the production of ultra high purity polycrystalline silicon
摘要
申请公布号 US4826668(A) 申请公布日期 1989.05.02
申请号 US19870062256 申请日期 1987.06.11
申请人 UNION CARBIDE CORPORATION 发明人 BRENEMAN, WILLIAM C.;FLAGELLA, ROBERT N.;GASTON, JON M.;HAGAN, DAVID W.
分类号 C01B33/02;C01B33/035;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
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