| 发明名称 |
Chemical polishing process and apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4826563(A) |
申请公布日期 |
1989.05.02 |
| 申请号 |
US19880181741 |
申请日期 |
1988.04.14 |
| 申请人 |
HONEYWELL INC. |
发明人 |
HASSETT, GERALD M.;PALMACCIO, LINDA A. |
| 分类号 |
B24B37/04;H01L21/465;(IPC1-7):B44C1/22;H01L21/306 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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