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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01112754(A) 申请公布日期 1989.05.01
申请号 JP19870270738 申请日期 1987.10.27
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOGA KAZUO
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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