发明名称 FORMATION OF SINGLE-CRYSTAL SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH01112723(A) 申请公布日期 1989.05.01
申请号 JP19870270562 申请日期 1987.10.27
申请人 SONY CORP 发明人 MORITA YASUSHI;NODA JITSUYA
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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