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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01112755(A) 申请公布日期 1989.05.01
申请号 JP19870270599 申请日期 1987.10.27
申请人 SHARP CORP 发明人 MIURA ATSUSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/31;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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