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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01112769(A) 申请公布日期 1989.05.01
申请号 JP19870270732 申请日期 1987.10.27
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 GOTO MAKIO
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/43;H01L29/78 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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