发明名称 REMOVING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01111331(A) 申请公布日期 1989.04.28
申请号 JP19870268145 申请日期 1987.10.26
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 TAKAISHI KENZO;OOSAKAYA TAKAYOSHI
分类号 G03F7/42;G03C11/00;G03F7/00;G03F7/30;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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