| 主权项 |
1.一种抛光头,其包含: 一前端主体,其系配置和一抛光垫之一抛光表面相 对; 一第一凹陷部分,其系形成于该前端主体之一表面 中,该表面和该抛光垫系相对; 一支撑板,其系配置在该第一凹陷部分中,实质上 和该抛光表面平行,及其可在使该支撑板和该前端 主体接触或和该前端主体分开的方向中移动; 一第一薄膜状部件,其系配置可从该支撑板之一表 面(和该前端主体相对的表面)延伸至该第一凹陷 部分的一内表面,及其中一第一空间系形成于该支 撑板之一表面(在该抛光垫之相反侧上的表面)及 该前端主体之间; 一第二凹陷部分,其系形成于该支撑板的该表面中 ,该表面和该抛光垫系相对; 一第二薄膜状部件,其系形成于该支撑板的该表面 上,该表面和该抛光垫相对,以密封该第二凹陷部 分,其中一第二空间系形成于该第二薄膜状部件及 该支撑板之间,及其可将要处理的一物体固定在和 该抛光垫相对的一表面上; 一连通孔,其系形成于该支撑板中,以使该第一空 间和该第二空间相通; 一压力装置,其可以一流体增加该第一空间及该第 二空间的压力为相等之压力,以透过该第二薄膜状 部件使该物体和该抛光垫按压接触;及 一护圈,其系配置在该前端主体的一表面上,该表 面和该抛光垫相对,该护圈包围该物体,及其会和 该抛光垫接触。 2.如请求项1之抛光头,其进一步包含:一对准部件, 其系配置在该前端主体及该支撑板之一上,以支撑 该第一薄膜状部件的一表面,该表面和该抛光垫系 相对,及其中 藉由该对准部件可改变该第一薄膜状部件的支撑 面积,以利用该第一空间的压力调整在该支撑板上 作用的一抑制力,藉此基于该前端主体控制该支撑 板的一位置。 3.如请求项2之抛光头,其中该对准部件系以可拆卸 的方式配置在该前端主体上,及包括支撑该第一薄 膜状部件之一表面之一外围部分的一环状部件,该 表面和该抛光垫系相对。 4.如请求项2之抛光头,其中该对准部件系以可拆卸 的方式配置在该前端主体的一内围部分上,及包括 支撑该第一薄膜状部件之该表面之一外围部分的 一环状部件,该表面和该抛光垫系相对。 5.如请求项2之抛光头,其中该对准部件系以可拆卸 的方式配置在该支撑板上,及包括支撑该第一薄膜 状部件之该表面之一内围部分的一环状部件,该表 面和该抛光垫系相对。 6.如请求项2之抛光头,其中该对准部件系以可拆卸 的方式配置在该支撑板的该外围部分上,及包括支 撑该第一薄膜状部件之该表面之一内围部分的一 环状部件,该表面和该抛光垫系相对。 7.如请求项2之抛光头,其中该对准部件的配置状态 如下:该对准部件覆盖该前端主体及包括复数个环 状部件,该等环状部件具有复数个在该环状部件之 内围表面形成的突出部分。 8.如请求项2之抛光头,其中 该对准部件包括: 一环状支撑部件,其系固定于该前端主体上及其具 有复数个在圆周方向中按预定间隔形成的插入孔; 及 插入板,其系以可移动的方式插入该等插入孔,及 其在一径向中突出于该支撑部件的内部,以支撑该 第一薄膜状部件之该表面的一外围部分,该表面和 该抛光垫系相对。 9.如请求项2之抛光头,其进一步包含:一驱动元件, 其可改变该第一薄膜状部件的一支撑面积。 10.如请求项8之抛光头,其中弯曲部分系分别形成 于该插入孔及该插入板的一内表面上,及在该插入 孔之该内表面上形成的该弯曲部分系和在该插入 板上形成的该弯曲部分啮合,以维持该插入板在所 需的深度。 11.一种抛光装置,其包含: 一抛光垫,其具有用于抛光要处理之一物体的一抛 光表面;及 一抛光头,其配置和该抛光表面相对及其可固定该 物体以使该物体和该抛光表面按压接触,及其中 该抛光头包含: 一前端主体,其系配置和该抛光垫之该抛光表面相 对; 一第一凹陷部分,其系形成于该前端主体之一表面 中,该表面和该抛光垫系相对; 一支撑板,其系配置在该第一凹陷部分中,实质上 和该抛光表面平行,及其可在使该支撑板和该前端 主体接触或和该前端主体分开的方向中移动; 一第一薄膜状部件,其系配置可从该支撑板之一表 面(和该前端主体相对的表面)延伸至该第一凹陷 部分的一内表面,及其中一第一空间系形成于该支 撑板之一表面(在该抛光垫之相反侧上的表面)及 该前端主体之间; 一第二凹陷部分,其系形成于该支撑板的该表面中 ,该表面和该抛光垫系相对; 一第二薄膜状部件,其系形成于该支撑板的该表面 上,且该表面和该抛光垫系相对,以密封该第二凹 陷部分,其中一第二空间系形成于该第二薄膜状部 件及该支撑板之间,及其可将要处理的一物体固定 在和该抛光垫相对的一表面上; 一连通孔,其系形成于该支撑板中,以使该第一空 间和该第二空间相通; 一压力装置,其可以一流体增加该第一空间及该第 二空间的压力为相等之压力,以透过该第二薄膜状 部件使该物体和该抛光垫按压接触;及 一护圈,其系配置在该前端主体的一表面上,该表 面和该抛光垫系相对,该护圈包围该物体,及其会 和该抛光垫接触。 图式简单说明: 图1为根据本发明第一具体实施例之晶圆抛光装置 的透视图; 图2为根据此具体实施例之抛光头的截面图; 图3为显示根据此具体实施例之第一空间及第二空 间的压力改变时,晶圆U之径向中接触压力改变的 模拟图; 图4为根据本发明第二具体实施例之抛光头的截面 图; 图5为根据本发明第三具体实施例之对准部件的平 面图; 图6为根据本发明第四具体实施例之对准部件的平 面图; 图7为根据第四具体实施例之对准部件的截面图; 图8为以特写显示图7之S所示部分的放大图; 图9为根据本发明第五具体实施例之抛光头的截面 图; 图10为习用抛光头的截面图; 图11A为显示垂直厚度很大时,护圈及橡胶膜间之关 系的示意图; 图11B为显示垂直厚度适中时,护圈及橡胶膜间之关 系的示意图; 图11C为显示垂直厚度很小时,护圈及橡胶膜间之关 系的示意图; 图12为习用分离式抛光头的截面图;及 图13为显示在第一空间的压力改变时,晶圆U之径向 中接触压力改变的模拟图。 |
