| 主权项 |
1.一种积体电路之接合结构,用以接合一第一基板 与一第二基板,该接合结构包含有: 一第一垫片,附着于该第一基板上; 复数个第一柱状物,以一第一密度形成于该第一垫 片上; 一第二垫片,附着于该第二基板上;以及 复数个第二柱状物,以一第二密度形成于该第二垫 片上; 其中,该复数个第一柱状物与该复数个第二柱状物 互相穿插以接合该第一基板与该第二基板。 2.如申请专利范围第1项所述之积体电路之接合结 构,其中该第一垫片与该第一基板之间以及该第二 垫片与该第二基板之间分别更包含有一传导层,用 以传递电讯号。 3.如申请专利范围第1项所述之积体电路之接合结 构,其中各该第一柱状物以及各该第二柱状物之排 列方式系选自面阵列(area array)、外圈排列( peripheral)及个别接点排列之群组组合中之一。 4.如申请专利范围第1项所述之积体电路之接合结 构,其中该第一垫片与该第一基板之附着方式以及 该第二垫片与该第二基板之附着方式系选自直接 接合、合金回焊接合、胶合及压合之群组组合中 之一。 5.如申请专利范围第1项所述之积体电路之接合结 构,其中该第一基板以及该第二基板系为一导电性 材质。 6.如申请专利范围第1项所述之积体电路之接合结 构,其中该第一垫片以及该第二垫片系为一导电性 材质。 7.如申请专利范围第1项所述之积体电路之接合结 构,其中各该第一柱状物以及各该第二柱状物系由 一导电性材质所制造。 8.如申请专利范围第1项所述之积体电路之接合结 构,其中各该第一柱状物以及各该第二柱状物之形 状系选自柱状、锥状及钩状之群组组合中之一。 9.一种积体电路之接合结构,用以接合一基板与一 具有纤维组织之物体,该接合结构包含有: 一垫片,附着于该基板上;以及 复数个柱状物,形成于该垫片上; 其中,该复数个柱状物穿插于该纤维组织中,以接 合该基板与该具有纤维组织之物体。 10.如申请专利范围第9项所述之积体电路之接合结 构,其中该纤维组织系为一导电性纤维组织。 11.如申请专利范围第9项所述之积体电路之接合结 构,更包含有一传导层,介于该垫片与该基板之间, 用以传递该基板发送之电讯。 12.如申请专利范围第9项所述之积体电路之接合结 构,其中各该柱状物之排列方式系选自面阵列(area array)、外圈排列(peripheral)及个别接点排列之群组 组合中之一。 13.如申请专利范围第9项所述之积体电路之接合结 构,其中该垫片与该基板之附着方式系选自直接接 合、合金回焊接合、胶合及压合之群组组合中之 一。 14.如申请专利范围第9项所述之积体电路之接合结 构,其中该基板系为一导电性材质。 15.如申请专利范围第9项所述之积体电路之接合结 构,其中该垫片系为一导电性材质。 16.如申请专利范围第9项所述之积体电路之接合结 构,其中各该柱状物系由一导电性材质所制造。 17.如申请专利范围第9项所述之积体电路之接合结 构,其中各该柱状物之形状系选自柱状、锥状及钩 状之群组组合中之一。 18.一种积体电路之接合结构的制造方法,包含有下 列步骤: 提供一垫片; 于该垫片上涂布一第一光阻层; 于该第一光阻层形成复数个第一柱状凹洞; 填充一导电性材料于该复数个第一柱状凹洞中; 于该第一光阻层上涂布一第二光阻层; 于该第二光阻层形成复数个第二凹洞,该复数个第 二凹洞之位置系对应于该复数个第一柱状凹洞; 填充该导电性材料于该复数个第二凹洞中;以及 移除该第一光阻层以及该第二光阻层。 19.如申请专利范围18项所述之积体电路之接合结 构的制造方法,其中该复数个第二凹洞之形状系为 柱状。 20.如申请专利范围第18项所述之积体电路之接合 结构的制造方法,其中该复数个第二凹洞之形状系 为锥状。 21.如申请专利范围第18项所述之积体电路之接合 结构的制造方法,其中该复数个第二凹洞之宽度系 大于该复数个第一柱状凹洞之宽度。 22.如申请专利范围第18项所述之积体电路之接合 结构的制造方法,其中该复数个第一柱状凹洞以及 该复数个第二凹洞之排列方式系选自面阵列(area array)、外圈排列(peripheral)及个别接点排列之群组 组合中之一。 23.如申请专利范围第18项所述之积体电路之接合 结构的制造方法,其中该垫片系为一导电性材质。 24.如申请专利范围第18项所述之积体电路之接合 结构的制造方法,其中该移除该第一光阻层以及该 第二光阻层之步骤系利用一蚀刻方式。 图式简单说明: 第1A图和第1B图系为本发明之第一实施例之积体电 路之接合结构示意图。 第2A图和第2B图系为本发明之第二实施例之积体电 路之接合结构示意图。 第3图系为本发明之第三实施例之积体电路之接合 结构示意图。 第4图系为本发明之第四实施例之积体电路之接合 结构示意图。 第5A图系为本发明之第五实施例之与具有纤维组 织之物体做接合之结构示意图。 第5B图系为本发明之第六实施例之与具有纤维组 织之物体做接合之结构示意图。 第5C图系为本发明之第七实施例之与具有纤维组 织之物体做接合之结构示意图。 第6A图、第6B图、第6C图、第6D图、第6E图、第6F图 、第6G图、第6H图、第6I图、第6J图、第6K图、第6L 图、第6M图和第6N图为本发明之接合结构之制作流 程示意图。 |
