发明名称 PRODUCTION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM BY ION PLATING
摘要
申请公布号 JPH01111722(A) 申请公布日期 1989.04.28
申请号 JP19870329627 申请日期 1987.12.28
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 ITO WATARU;ITO TORU;TAKAGI YASUO;HASHIMOTO MISAO;TAKEBAYASHI SHIGETO
分类号 C23C14/54;C01G1/00;C01G3/00;C04B41/87;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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