发明名称 |
PRODUCTION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM BY ION PLATING |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01111722(A) |
申请公布日期 |
1989.04.28 |
申请号 |
JP19870329627 |
申请日期 |
1987.12.28 |
申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
ITO WATARU;ITO TORU;TAKAGI YASUO;HASHIMOTO MISAO;TAKEBAYASHI SHIGETO |
分类号 |
C23C14/54;C01G1/00;C01G3/00;C04B41/87;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C14/54 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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