PLASMA VAPOR PHASE GROWING DEVICE,申请号JP19870267993-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	PLASMA VAPOR PHASE GROWING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01111871(A)	申请公布日期	1989.04.28
申请号	JP19870267993	申请日期	1987.10.23
申请人	NEC CORP	发明人	MORITA MAKOTO
分类号	C23C14/34;C30B25/02	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
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