发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01111368(A) 申请公布日期 1989.04.28
申请号 JP19870270809 申请日期 1987.10.26
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUDA YUKIHIKO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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