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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01111368(A)
申请公布日期
1989.04.28
申请号
JP19870270809
申请日期
1987.10.26
申请人
NEC CORP
发明人
MATSUDA YUKIHIKO
分类号
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
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