| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01111374(A) |
申请公布日期 |
1989.04.28 |
| 申请号 |
JP19870269734 |
申请日期 |
1987.10.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MIENO FUMITAKE;FURUMURA YUJI;NAKAZAWA TSUTOMU;ESHITA TAKASHI;ITO KIKUO |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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