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经营范围
发明名称
LIQUID PHASE EPITAXY GROWING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01111795(A)
申请公布日期
1989.04.28
申请号
JP19870268432
申请日期
1987.10.22
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAWAMA YOSHITATSU
分类号
H01L21/208;C30B19/06
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
地址
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