| 发明名称 |
PRODUCTION OF HYDROXYSILANE AND/OR ITS OLIGOMER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01111709(A) |
申请公布日期 |
1989.04.28 |
| 申请号 |
JP19870268949 |
申请日期 |
1987.10.23 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
UCHIMURA SHUNICHIRO;SATO TONOBU |
| 分类号 |
B01J29/08;C01B33/04;C07F7/08;C08G77/02;C09D183/00;C23C18/12;H01L21/225;H01L21/316 |
主分类号 |
B01J29/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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