| 发明名称 |
METHOD FOR COATING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01111328(A) |
申请公布日期 |
1989.04.28 |
| 申请号 |
JP19870271428 |
申请日期 |
1987.10.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NAGANAMI TSUNEHIRO;SUDO ATSUSHI;YAGISHITA YUICHIRO;HIROSE MINORU;YAMASHITA TOSHIHIRO |
| 分类号 |
B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
B05D1/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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