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经营范围
发明名称
VACUUM EXHAUST SYSTEM EQUIPPED WITH COLD TRAP
摘要
申请公布号
JPH01110880(A)
申请公布日期
1989.04.27
申请号
JP19870223013
申请日期
1987.09.08
申请人
ULVAC CORP;MECT CORP
发明人
OHINATA YOICHI
分类号
F04B37/16
主分类号
F04B37/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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