发明名称 CAMARA MEJORADA DE DEPOSICION POR DESCARGA LUMINISCENTE PARA PRODUCIR PILAS FOTOVOLTAICAS DEPOSITANDO CAMPAS SUCESIVAS DE UN MATERIAL SEMICONDUCTOR SOBRE UN SUBSTRATO
摘要
申请公布号 MX159162(A) 申请公布日期 1989.04.26
申请号 MX19830199201 申请日期 1983.10.25
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 PREM NATH;KEVIN RICHARD HOFFMAN;TIMOTHY DEAN LAARMAN
分类号 H01L31/04;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):C23C4/04 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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