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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE WITH MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号
JPH01109750(A)
申请公布日期
1989.04.26
申请号
JP19870268436
申请日期
1987.10.22
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HIGAKI YUKIO
分类号
H01L21/768;H01L21/31;H01L23/522
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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