基板载置机构及基板交接方法

摘要

一种即使被处理基板为大型,亦可以藉由升降销确实支撑被处理基板,并有效果抑止被处理基板之变形的基板载置机构。其解决手段为具备:承载器4,当作载置具有可挠性之基板G之载置台;升降销8a、8b,被设置成对承载器之载置面伸缩自如,各支撑基板G之边缘部及部而在执行交接承载器4之上方之基板的交接位置和承载器4上之载置位置之间予以升降;驱动部9a、9b,当作使升降销8a、8b驱动之驱动机构,驱动部9a、9b是于使基板G升降时,使升降销8a突出比升降销8b更高,基板G在下方弯曲成凸状之状态下藉由升降销8a、8b被安定支撑。