电晶体、记忆胞元阵列及制造电晶体方法

摘要

本发明提供了积体电路的一种电晶体,该电晶体包括:第一和第二源极/汲极区域;连接第一和第二源极/汲极区域的通道区域;以及经配置成用于控制在该通道中流动的电流的闸电极。该闸电极被设置在限定于半导体基板的顶表面中的闸极槽中。第一和第二源极/汲极区域至少延伸至深度d1,其中该深度d1是从基板的顶表面测量的。闸电极的顶表面以距该顶表面小于深度d1的距离设置在半导体基板顶表面之下。