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发明名称
SEMICONDUCTOR PHOTODETECTOR
摘要
申请公布号
JPH01109225(A)
申请公布日期
1989.04.26
申请号
JP19870266894
申请日期
1987.10.22
申请人
YOKOGAWA ELECTRIC CORP
发明人
YAMAGISHI HIDEAKI
分类号
H01L21/66;G01J1/02
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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