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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01109772(A) 申请公布日期 1989.04.26
申请号 JP19870268440 申请日期 1987.10.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJII TAKAYUKI
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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