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经营范围
发明名称
VAPOR PHASE EPITAXY METHOD
摘要
申请公布号
JPH01109715(A)
申请公布日期
1989.04.26
申请号
JP19870267921
申请日期
1987.10.22
申请人
FUJITSU LTD
发明人
ITO HIROMI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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