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发明名称
MODIFICATION OF INTERFACIAL FIELDS BETWEEN DIELECTRICS AMODIFICATION OF INTERFACIAL FIELDS BETWEEN DIELECTRICS AND SEMICONDUCTORS ND SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号
EP0308814(A3)
申请公布日期
1989.04.26
申请号
EP19880115112
申请日期
1988.09.15
申请人
NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人
ARONOWITZ, SHELDON;ANAND, KRANTI
分类号
H01L29/06;H01L21/28;H01L21/3115;H01L21/316;H01L21/324;H01L29/51;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/31;H01L29/62
主分类号
H01L29/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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