| 摘要 |
本发明提供一种即使在下游产生流量变动的情况下也可以快速回应及高精度之性能来进行压力控制的压力调整器。压力调整器1使用伺服阀11规范从气体供给源10供给之气体流入等温化压力容器13的流入流量，将等温化压力容器13内之压力保持为一定。在此，操作伺服阀11之压力控制装置(电脑16)将对压力计14所测量出之等温化压力容器13内之压力进行回馈控制之压力控制系统作为主要回路，在其内侧，构成对流量计12所测量出之流入流量进行回馈控制之流入流量控制系统，并且，构成根据流入流量和压力微分计15所测量出之等温化压力容器13内之压力微分值推测从等温化压力容器13流出之流出流量的观测器，再构成将所推测出之流出流量回馈至流入流量控制系统的模型追踪控制系统。 |
